MTS是甲基三氯硅烷（Methyltrichlorosilane）的简称，其分子式为CH3Cl3Si。它是一种无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解，属于易燃液体并具有一定毒性 。MTS可通过气相沉积法制作碳化硅（SiC）电子产品 ，也是化学气相沉积制备碳化硅晶须的原料 。
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MTS是甲基三氯硅烷（Methyltrichlorosilane）的简称，其分子式为CH3Cl3Si。它是一种无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解，属于易燃液体并具有一定毒性 。MTS可通过气相沉积法制作碳化硅（SiC）电子产品 ，也是化学气相沉积制备碳化硅晶须的原料 。
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