RF MEMS
RFMEMS(射频微机电系统)是采用微机电系统(MEMS)技术加工的射频产品,核心原理基于0.3MHz至300GHz高频电磁波特性。该技术通过平面加工、体硅腐蚀及固相键合等工艺,在硅基或砷化镓基板上构建微机械结构,主要包含无源MEMS(如滤波器)和有源MEMS(如射频开关)两大类别。其创新在于通过高导电金属结构与静电驱动机制,实现射频电路的微型化集成,有效消除传统分立元件的寄生损耗。RF MEMS具备可编程能力,支持软件无线电(SDR)功能,可实现天线频率调整与可调式阻抗匹配
