二氧化硅本身没有任何危害，但是微粉化的二氧化硅（又称微粉硅胶，粒径在10微米以下）是有危害的，由于比表面积非常大，可以长期悬浮在空气中，吸入后，气管、支气管黏膜都不能将其完全捕获，部分可以直接进入支气管深部或肺泡，无法排除，形成“尘肺”。硅对人体最大的危害是引起矽肺。硅尘进入呼吸道，被肺巨噬细胞吞噬，释放出活性因子，刺激成纤维细胞合成更多的胶原。硅尘还可刺激巨噬细胞释放溶酶体酶，破坏Si02表面被覆的蛋白质而暴露受损的细胞膜，还可启动脂质过氧化，产生自由基，损伤甚至杀死巨噬细胞，死亡的细胞可刺激临近成纤维细胞合成胶原。硅尘重新被释放出来，又被其它的巨噬细胞吞噬，而产生更多的胶原纤维，随着时间的延续，病程进展引起矽肺。二氧化硅的粉尘极细，比表面积达到100m2/g以上（全自动F-Sorb 2400氮吸附BET比表面积测试仪），可以悬浮在空气中，如果人长期吸入含有二氧化硅的粉尘，就会患硅肺病（因硅旧称为矽，硅肺旧称为矽肺）。在粉尘较多的工作场所，应采取严格的劳动保护措施，采用多种技术和设备控制工作场所的粉尘含量，以保证工作人员的身体健康。
