荷电效应

荷电效应

荷电效应指导电性差的材料(如半导体、绝缘体薄膜)在电子束照射时,表面电荷无法及时导出而形成局部电场的现象 。该效应会导致扫描电镜图像畸变、信号漂移,俄歇电子动能测量值异常偏低 ,严重时阻碍电子能谱分析 。其强度受束流密度、材料导电性及薄膜厚度影响 。工程实践中常采用导电镀膜、降低束流或加速电压等方法抑制电荷积累。在电子背散射衍射分析中,控制导电镀膜厚度是确保测试结果的关键 。存在用于抑制荷电效应的显微成像技术 。

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