
非制冷红外焦平面传感器是一种基于微机电系统(MEMS)工艺制造,能够在室温下工作的红外成像核心器件 。它利用红外辐射的热效应,将目标红外辐射转换为电信号形成热图像或温度数据,具有无需制冷、体积小、成本低、功耗小等特点 。
该技术始于20世纪80年代,目前微测辐射热计型技术因其与CMOS工艺兼容性好、易于生产已成为主流 。技术向高性能、小型化发展,像元尺寸演进至12μm及更小,阵列规模不断扩大 。氧化钒与非晶硅是两种主流的热敏材料 。
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